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电子行业超纯水常规制备工艺
更新时间:2013-02-06 14:37 免费会员
山东格瑞水处理有限公司
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    30
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  • 规格参数
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电子行业超纯水常规制备工艺
电子行业超纯水常规制备工艺
1)采用离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2)采用反渗透加离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3)采用反渗透加EDI方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997
级别
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率
MΩ·cm(25℃)
18
(95%时间)
不低于17
15
(95%时间)
不低于13
12.0
0.5
全硅 最大值ug/L
2
10
50
1000
>1um微粒数,最大值 个/ml
0.1
5
10
500
细菌数,最大值,个/mL
0.01
0.1
10
100
铜,最大值 ug/L
0.2
1
2
500
锌,最大值 ug/L
0.2
1
2
500
镍,最大值 ug/L
0.1
1
2
500
钠,最大值 ug/L
0.5
2
5
1000
钾,最大值 ug/L
0.5
2
5
500
氯,最大值 ug/L
1
1
10
1000
硝酸根,最大值 ug/L
1
1
10
500
磷酸根,最大值 ug/L
1
1
10
500
硫酸根,最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳,最大值 ug/L
20
100
200
1000
电话:0537-6988002
传真:0537-6988009
手机:15264793358
联系人:董
电子行业超纯水常规制备工艺
1)采用离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
2)采用反渗透加离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→阴阳树脂混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3)采用反渗透加EDI方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器(阻垢剂)→精密过滤器→反渗透机→EDI系统→抛光混床→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997

级别
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率
MΩ·cm(25℃)
18
(95%时间)
不低于17
15
(95%时间)
不低于13
12.0
0.5
全硅 最大值ug/L
2
10
50
1000
>1um微粒数,最大值 个/ml
0.1
5
10
500
细菌数,最大值,个/mL
0.01
0.1
10
100
铜,最大值 ug/L
0.2
1
2
500
锌,最大值 ug/L
0.2
1
2
500
镍,最大值 ug/L
0.1
1
2
500
钠,最大值 ug/L
0.5
2
5
1000
钾,最大值 ug/L
0.5
2
5
500
氯,最大值 ug/L
1
1
10
1000
硝酸根,最大值 ug/L
1
1
10
500
磷酸根,最大值 ug/L
1
1
10
500
硫酸根,最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳,最大值 ug/L
20
100
200
1000

电话:0537-6988002
传真:0537-6988009
手机:15264793358
联系人:董经理
QQ2621649098
经理
QQ2621649098

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