◆工艺管数量：1-4管

◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆结构型式：卧式热壁型

◆工作温度范围：400～1280℃

◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm

◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆气体流量设定精度:±1％F.S

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）

          噪音：≤62dB（A）

          震动：≤3μm

◆控制方式： 工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
青岛晨立电子有限公司可根据客户需求定制各种非标管式炉、高温炉、扩散炉、焊接炉、硒化炉、气氛炉、烤盘炉、扩散炉控制系统、真空炉、升华炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、氢气炉、工业炉体等各种工业电炉、实验电炉等高温设备。专业团队个性化定做，厂家直接供货，欢迎广大客户来电来函。