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供应高温实验炉
更新时间:2012-10-22 10:27 免费会员
长沙诺天电子科技有限公司
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CVD(G)系列真空高温管式炉专门设计用于高温CVD工艺,如ZnO纳米结构的可控生长、氮化硅渡膜、陶瓷基片导电率测试、陶瓷电容器(MLCC)气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温,国产优质硅钼棒加热,优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空,气体采用浮子流量计控制。进口单回路智能温度控制仪控制,设备具有温度均匀、控制稳定、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点,是理想的科研设备。                     
一、技术指标:
 备 型 号
NT-CVD(G)-08/50/1
温区最高温度 
1650℃;(最长恒温时间:≥10小时);常用温度:1600℃ (最长恒温时间:≥100小时) 
 
加热有效容积
Φ72(内经)×500mm;恒温区尺寸:Φ72(内经)×250mm 
炉管实际尺寸
 Φ80(外径)×1400mm (国产优质刚玉管)
炉 膛 材 料 
氧化铝纤维制品
 
控制温区点数
1个,1支B分度热偶
设备温场温差
±1℃ ,日本岛电进口40段程序控制仪表(1只)
加 热 元 件
    优质硅钼棒
 
最大加热功率 
  12Kw
保 温 功 率
   5kw
最大升温速率
 3℃∽10℃/min;
 最大降温速率
3℃∽7℃/min
       
温度均匀性
±3℃(有效范围:Φ72×250mm)
气路配件材料 
气路配件材料,端头不锈钢发兰密封,
一路气体采用浮子流量计控制,
所有管道和阀门采用不锈钢元件
极 限 真 空 
≤10Pa(常温) ,一级机械泵(配电磁阀)。
压升率
≤5Pa/h
                       
   
1000时可抽真空,能通保护氮气
外型参考尺寸    1250(L)×1650(H)×650(D)mm
输入动力电源    单相电源,50HZ ,220V±10%;10KW
炉体表面温升   ≤45℃

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